作為制作光伏電池和集成電路的基礎,硅片能用干冰清洗機進行清洗嗎?電子行業清洗的效果直接影響到光伏電池和集成電路最終的性能、效率和穩定性。由于硅材料的清潔度不夠,出現問題甚至失效的比例達到50%,因此有必要對硅片的清洗工藝進行優化。
ICS干冰清洗機|高效 環保 應用廣泛
硅片可以用干冰清洗嗎?
當溫度超過31.1℃,壓力達到7.38mpa時,CO2處于超臨界狀態,可以實現氣固轉換。二氧化碳通過噴嘴突然從氣缸中噴出,壓力下降,體積迅速膨脹,二氧化碳的恒定焓發生變化。二氧化碳的氣液混合物產生固體干冰顆粒,從而實現硅片的清洗。干冰顆粒去除顆粒物和有機物雜質的機理不同。
在去除顆粒雜質時,干冰顆粒與顆粒雜質彈性碰撞,產生動量傳遞,顆粒雜質被高速氣流粉碎帶走。當有機雜質被去除時,干冰顆粒與有機物發生非彈性碰撞,干冰顆粒液化并包裹有機物離開硅片表面,然后凝固并被高速氣流帶走。提出了一種新的干冰顆粒噴霧清洗技術,采用5N純度、8Mpa CO2氣源壓力、11mpa噴嘴壓力等清洗參數,最終獲得了良好的清洗效果。
干冰清洗機干冰顆粒清洗技術是一種理想的清洗技術,對硅片表面無損傷,不會污染環境。